JP2019203775A - Corrosion detection device, corrosion state determination system, and corrosion detection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、腐食検出装置、腐食状態判定システム及び腐食検出方法に関するものである。 The present invention relates to a corrosion detection device, a corrosion state determination system, and a corrosion detection method.
従来から、異なる金属材料によって形成された電極間に流れるガルバニック電流を出力するACM(Atmospheric Corrosion Monitor)センサによって部材の腐食を検出する検出装置が用いられている。例えば、特許文献1には、基板状に形成された第1金属電極上に絶縁層をパターニングし、この絶縁層上に第1金属電極と異なる金属材料により形成された第2金属電極がパターン形成された腐食センサが開示されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a detection device that detects corrosion of a member by an ACM (Atmospheric Corrosion Monitor) sensor that outputs a galvanic current flowing between electrodes formed of different metal materials has been used. For example, in Patent Document 1, an insulating layer is patterned on a first metal electrode formed in a substrate shape, and a second metal electrode formed of a metal material different from the first metal electrode is patterned on the insulating layer. An improved corrosion sensor is disclosed.
ところが、腐食センサの設置環境が低湿度であったり、また腐食の初期段階であったりすると、ガルバニック電流が十分に流れずに部材に腐食が発生しているか否かを正確に判定できない場合がある。 However, if the installation environment of the corrosion sensor is low humidity or is in the initial stage of corrosion, it may not be possible to accurately determine whether or not corrosion has occurred in the member because the galvanic current does not flow sufficiently. .
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、低湿度や部材の腐食の初期段階であっても、部材に腐食が発生していることを検出可能とすることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to make it possible to detect that corrosion has occurred in a member even at an early stage of low humidity or corrosion of the member.
本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。 The present invention adopts the following configuration as means for solving the above-described problems.
第1の発明は、第1導電材料から形成された基板電極と、上記基板電極上にパターニングされて形成された絶縁膜と、上記絶縁膜上に形成されると共に上記第1導電材料と異なる第2導電材料によって形成されたパターン電極とを備える腐食検出装置であって、上記基板電極及び上記パターン電極に励磁信号を付与する励磁信号供給部と、上記基板電極と上記パターン電極との間の静電容量を計測して出力する静電容量計測部とを備えるという構成を採用する。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate electrode formed from a first conductive material, an insulating film formed by patterning on the substrate electrode, a first electrode formed on the insulating film and different from the first conductive material. A corrosion detection apparatus comprising a pattern electrode formed of two conductive materials, the substrate electrode and an excitation signal supply unit for applying an excitation signal to the pattern electrode, and a static electricity between the substrate electrode and the pattern electrode. A configuration is adopted in which a capacitance measuring unit that measures and outputs the capacitance is provided.
第2の発明は、上記第1の発明において、上記基板電極と上記パターン電極との間に流れる電流を計測して出力する電流計測部を備えるという構成を採用する。 According to a second invention, in the first invention, a configuration is provided in which a current measurement unit that measures and outputs a current flowing between the substrate electrode and the pattern electrode is employed.
第3の発明は、上記第1または第2の発明において、少なくとも上記基板電極あるいは上記パターン電極に腐食が発生するまでの期間にて、上記励磁信号供給部に上記励磁信号を上記基板電極及び上記パターン電極に付与させ、かつ、静電容量計測部に上記静電容量を出力させる制御部を備えるという構成を採用する。 According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the excitation signal is supplied to the excitation signal supply unit at least until the substrate electrode or the pattern electrode is corroded. A configuration is adopted in which a control unit is provided that is applied to the pattern electrode and that causes the capacitance measuring unit to output the capacitance.
第4の発明は、腐食状態判定システムであって、上記第1〜第3いずれかの発明である腐食検出装置と、上記腐食検出装置から出力される上記静電容量に基づいて上記基板電極及び上記パターン電極の少なくともいずれかの腐食状態を判定する判定部とを備えるという構成を採用する。 4th invention is a corrosion state determination system, Comprising: The said board | substrate electrode based on the corrosion detection apparatus which is any one of the said 1st-3rd invention, and the said electrostatic capacitance output from the said corrosion detection apparatus A configuration is adopted that includes a determination unit that determines at least one of the corrosion states of the pattern electrode.
第5の発明は、第1導電材料から形成された基板電極と、上記基板電極上にパターニングされて形成された絶縁膜と、上記絶縁膜上に形成されると共に上記第1導電材料と異なる第2導電材料によって形成されたパターン電極とを備える腐食検出装置を用いた腐食検出方法であって、上記基板電極と上記パターン電極との間に励磁信号を付与し、上記基板電極と上記パターン電極との間の静電容量を計測するという構成を採用する。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a substrate electrode formed from a first conductive material, an insulating film formed by patterning on the substrate electrode, a first electrode formed on the insulating film and different from the first conductive material. A corrosion detection method using a corrosion detection device comprising a pattern electrode formed of two conductive materials, wherein an excitation signal is applied between the substrate electrode and the pattern electrode, and the substrate electrode and the pattern electrode The configuration of measuring the capacitance between the two is adopted.
第6の発明は、上記第5の発明において、上記基板電極と上記パターン電極との間に流れる電流を計測するという構成を採用する。 A sixth invention adopts a configuration in which, in the fifth invention, a current flowing between the substrate electrode and the pattern electrode is measured.
第7の発明は、上記第5または第6の発明において、少なくとも上記基板電極及び上記パターン電極に腐食が発生するまでの期間にて、上記励磁信号を上記基板電極あるいは上記パターン電極に付与し、かつ、上記静電容量を計測するという構成を採用する。
第8の発明は、上記第5〜第7いずれかの発明において、上記静電容量に基づいて上記基板電極及び上記パターン電極の少なくともいずれかの腐食状態を判定するという構成を採用する。
According to a seventh invention, in the fifth or sixth invention, the excitation signal is applied to the substrate electrode or the pattern electrode at least until the substrate electrode and the pattern electrode are corroded, And the structure of measuring the said electrostatic capacitance is employ | adopted.
According to an eighth invention, in any one of the fifth to seventh inventions, a configuration is adopted in which a corrosion state of at least one of the substrate electrode and the pattern electrode is determined based on the capacitance.
本発明によれば、基板電極とパターン電極とに励磁信号を付与することによって、基板電極とパターン電極とがコンデンサとして機能し、これらの基板電極とパターン電極との間に電荷が蓄えられる。基板電極あるいはパターン電極の表面に錆層が形成されると、錆層の厚さ寸法の分、基板電極とパターン電極との距離が近づくことになり、基板電極とパターン電極との間の静電容量が変化する。このため、基板電極とパターン電極との間の静電容量に基づいて、錆層の有無すなわち腐食状態の有無を判定することができる。本発明によれば、上記の静電容量が計測されるため、計測結果に基づいてガルバニック電流によらずに部材の腐食状態を判定することが可能となる。したがって、本発明によれば、低湿度や部材の腐食の初期段階であっても、部材に腐食が発生していることを検出することができる。 According to the present invention, by applying an excitation signal to the substrate electrode and the pattern electrode, the substrate electrode and the pattern electrode function as a capacitor, and charges are stored between the substrate electrode and the pattern electrode. When the rust layer is formed on the surface of the substrate electrode or the pattern electrode, the distance between the substrate electrode and the pattern electrode becomes closer by the thickness of the rust layer, and the electrostatic capacitance between the substrate electrode and the pattern electrode is reduced. The capacity changes. For this reason, the presence or absence of a rust layer, that is, the presence or absence of a corrosion state, can be determined based on the capacitance between the substrate electrode and the pattern electrode. According to this invention, since said electrostatic capacitance is measured, based on a measurement result, it becomes possible to determine the corrosion state of a member irrespective of a galvanic current. Therefore, according to the present invention, it is possible to detect that corrosion has occurred in the member even at low humidity or in the initial stage of corrosion of the member.
以下、図面を参照して、本発明に係る腐食検出装置、腐食状態判定システム及び腐食検出方法の一実施形態について説明する。 Hereinafter, an embodiment of a corrosion detection device, a corrosion state determination system, and a corrosion detection method according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本実施形態の腐食状態判定システム1の概略構成を示すブロック図である。この図に示すように、本実施形態の腐食状態判定システム1は、腐食状態に応じた値の出力を行う腐食検出装置2と、腐食検出装置2の出力に基づいて腐食の状態を判定する判定部3とを備えている。
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a corrosion state determination system 1 of the present embodiment. As shown in this figure, the corrosion state determination system 1 of the present embodiment is a corrosion detection device 2 that outputs a value corresponding to the corrosion state, and a determination that determines the corrosion state based on the output of the corrosion detection device 2.
腐食検出装置2は、腐食センサ4と、発振器5(励磁信号供給部)と、第1スイッチ6と、第2スイッチ7と、インピーダンス測定器8(静電容量計測部)と、電流計9(電流計測部)と、制御部10とを備えている。腐食センサ4は、腐食状態の検出対象である部材に対して設置されている。図2は、腐食センサ4の概略構成図であり、(a)が平面図であり、(b)が(a)のA−A断面図である。
The corrosion detection device 2 includes a corrosion sensor 4, an oscillator 5 (excitation signal supply unit), a
図2に示すように、腐食センサ4は、基板電極4aと、絶縁膜4bと、パターン電極4cと、第1配線4dと、第2配線4eとを備えている。基板電極4aは、検出対象である部材を形成する金属材料あるいはこの金属材料を含む材料によって形成されており、板状に形状設定されている。このような基板電極4aは、例えば鉄鋼(第1導電材料)により形成されている。
As shown in FIG. 2, the corrosion sensor 4 includes a
絶縁膜4bは、基板電極4a上に形成された絶縁性の薄膜である。この絶縁膜4bには、図2(a)に示すように、中央部に複数のスリット4b1が平行に形成されている。各々のスリット4b1は、図2(b)に示すように、絶縁膜4bを貫通して設けられている。これらのスリット4b1によって、基板電極4aの表面の一部が露出された状態とされている。
The
パターン電極4cは、絶縁膜4b上にパターニングされて形成されると共に、基板電極4aの形成材料と異なる導電材料(第2導電材料)によって形成されている。例えば、パターン電極4cを形成材料としては、金、銀、銅、アルミニウムあるいはこれらの合金を用いることができる。また、パターン電極4cの形成材料としては、炭素を用いることも可能である。パターン電極4cは、絶縁膜4bのスリット4b1が形成された領域に設けられており、スリット4b1を避けて絶縁膜4b上のみに形成されている。つまり、パターン電極4cは、絶縁膜4bのスリット4b1に合わされた位置に、複数のスリット4c1が平行に形成されている。このようなパターン電極4cは、絶縁膜4bを介して、基板電極4a上に設けられており、基板電極4aと絶縁されている。
The
第1配線4dは、基板電極4aと接続されており、基板電極4aと腐食センサ4の外部のインピーダンス測定器8とを導通する配線である。第2配線4eは、パターン電極4cとインピーダンス測定器8とを導通する配線である。
The
発振器5は、制御部10の制御の下に、基板電極4a及びパターン電極4cに付与する励磁信号を生成する。本実施形態では、発振器5は、例えばGHz帯の高周波の交流信号を励磁信号として生成する。
The
第1スイッチ6は、発振器5と腐食センサ4の第1配線4dとの間に配置されており、制御部10の制御の下に開閉される開閉器である。第1スイッチ6は、制御部10によって閉状態とされることによって、第1配線4dを介して発振器5と基板電極4aとを導通状態とする。また、第1スイッチ6は、制御部10によって開状態とされることによって、発振器5と基板電極4aとを絶縁状態とする。
The
第2スイッチ7は、発振器5と腐食センサ4の第2配線4eとの間に配置されており、制御部10の制御の下に開閉される開閉器である。第2スイッチ7は、制御部10によって閉状態とされることによって、第2配線4eを介して発振器5とパターン電極4cとを導通状態とする。また、第2スイッチ7は、制御部10によって開状態とされることによって、発振器5とパターン電極4cとを絶縁状態とする。
The second switch 7 is a switch that is disposed between the
インピーダンス測定器8は、第1配線4dを介して基板電極4aと接続され、第2配線4eを介してパターン電極4cと接続されている。このインピーダンス測定器8は、制御部10の制御の下に、励磁信号を基板電極4aとパターン電極4cとの間に付与した場合における基板電極4aとパターン電極4cとの間の電圧及び電流を計測する。さらに、インピーダンス測定器8は、この計測結果に基づいて、基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量等を求めて出力する。このインピーダンス測定器8から出力された静電容量は、腐食検出装置2の出力として判定部3に対して入力される。
The impedance measuring
電流計9は、基板電極4aとパターン電極4cとの間に流れる電流を計測し、その計測結果を出力する。この電流計9から出力された電流値は、腐食検出装置2の出力として判定部3に入力される。このような電流計9は、発振器5から励磁信号が基板電極4a及びパターン電極4cに供給されていない場合であっても、基板電極4aとパターン電極4cとの間に流れる電流を計測する。このため、腐食が発生して基板電極4aとパターン電極4cとの間にガルバニック電流が流れた場合には、電流計9によってガルバニック電流が計測され、その計測結果が判定部3に対して入力される。
The ammeter 9 measures the current flowing between the
制御部10は、判定部3と接続されており、判定部3の計測結果に基づいて、発振器5、第1スイッチ6、第2スイッチ7及びインピーダンス測定器8の制御を行う。例えば、制御部10は、判定部3にて基板電極4aが腐食していないと判定されている場合には、発振器5に励磁信号を生成させ、第1スイッチ6及び第2スイッチ7を閉状態とさせる。さらに、制御部10は、インピーダンス測定器8に基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量等を出力させる。一方、制御部10は、判定部3にて基板電極4aが腐食していると判定されている場合には、発振器5による励磁信号の生成を停止し、第1スイッチ6及び第2スイッチ7を開状態とさせる。このような場合には、制御部10は、少なくとも基板電極4aに腐食が発生するまでの期間にて、発振器5に励磁信号を基板電極4a及びパターン電極4cに付与させ、かつ、インピーダンス測定器8に静電容量を出力させる。
The
判定部3は、腐食検出装置2の出力(インピーダンス測定器8からの静電容量、あるいは、電流計9からの電流値)に基づいて、基板電極4a(すなわち腐食状態の検出対象である部材)の腐食状態を判定する。基板電極4aに腐食が発生していない場合には、基板電極4aとパターン電極4cとの間にガルバニック電流は流れず、基板電極4aに腐食が発生すると基板電極4aとパターン電極4cとの間にガルバニック電流は流れる。しかしながら、腐食の発生初期等においては、基板電極4aとパターン電極4cとの間に流れるガルバニック電流が微弱であり、電流計9によってガルバニック電流が計測できない場合がある。一方で、基板電極4aに腐食が発生すると、基板電極4aの表面に形成された錆層によって、基板電極4aとパターン電極4cとの物理的な離間距離が短くなる。このため、腐食の発生初期や低湿度であっても、腐食が発生した場合には、励磁信号供給時における基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量が変化する。また、腐食の進行程度(すなわち錆層の厚さ寸法)によっても励磁信号供給時における基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量が変化する。このため、判定部3は、少なくとも腐食が発生するまでの期間では、インピーダンス測定器8から入力される静電容量に基づいて、基板電極4aの腐食状態を判定する。
Based on the output of the corrosion detection device 2 (capacitance from the
なお、基板電極4aの腐食が進む等により、基板電極4aとパターン電極4cとの間にガルバニック電流が安定して流れる状態となった場合には、判定部3は、電流計9から入力あれる電流値(すなわちガルバニック電流の値)に基づいて、基板電極4aの腐食状態を判定する。
When the galvanic current flows stably between the
続いて、このような本実施形態の腐食状態判定システム1の動作(腐食検出装置2を用いた腐食検出方法)について説明する。 Next, the operation of the corrosion state determination system 1 according to this embodiment (a corrosion detection method using the corrosion detection device 2) will be described.
まず、腐食センサ4を検出対象の部材に対して取り付ける。このように腐食センサ4を部材に対して取り付けた直後においては、検出対象の部材及び基板電極4aに腐食は発生していない。このため、判定部3から腐食が発生していない旨の信号が制御部10に入力される。制御部10は、腐食が発生するまでの期間、離散的あるいは連続的に、発振器5に励磁信号を生成させ、第1スイッチ6及び第2スイッチ7を閉状態とする。これによって、励磁信号が基板電極4a及びパターン電極4cに供給される。
First, the corrosion sensor 4 is attached to a detection target member. Thus, immediately after the corrosion sensor 4 is attached to the member, no corrosion occurs on the detection target member and the
このように基板電極4a及びパターン電極4cに励磁信号が供給されると、基板電極4aとパターン電極4cとの間に励磁信号に応じた電圧が印加され、基板電極4aとパターン電極4cとの間に電流が流れる。インピーダンス測定器8は、励磁信号が基板電極4a及びパターン電極4cに供給されたことによって発生した上記電圧及び電流に基づいて、基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量を求め、この静電容量を出力する。
When the excitation signal is supplied to the
判定部3は、インピーダンス測定器8から入力される静電容量の値が、予め記憶する閾値を超えた場合には、基板電極4a(すなわち検出対象の部材)に腐食が発生したと判定し、その判定結果を出力する。判定部3にて腐食が発生したと判定された場合には、制御部10は、発振器5、第1スイッチ6及び第2スイッチ7を制御して励磁信号の基板電極4a及びパターン電極4cへの供給を停止し、インピーダンス測定器8による静電容量の計測も停止させる。このような場合には、電流計9で計測されたガルバニック電流の値が判定部3に入力され、判定部3は、ガルバニック電流に基づいて腐食の進行程度を判定し、その判定結果を出力する。
The
つまり、本実施形態の腐食状態判定システム1においては、基板電極4a(すなわち検出対象である部材)に腐食が発生するまでの期間は、基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量に基づいて腐食の発生状態を判定し、腐食が発生した後はガルバニック電流に基づいて腐食の進行程度を判定する。
That is, in the corrosion state determination system 1 of the present embodiment, the period of time until corrosion occurs on the
なお、静電容量に腐食状態を判定する期間と、ガルバニック電流によって腐食状態を判定する期間とを切り替えるタイミングは、腐食の発生タイミングに限るものではない。例えば、腐食発生初期においては、上述のように微弱なガルバニック電流しか流れないことから、腐食がある程度進行し、安定して計測可能なガルバニック電流が流れるようになってから、静電容量からガルバニック電流による腐食状態の判定に切り替えるようにしても良い。例えば、腐食が進行し、ガルバニック電流が1μA以上流れるようになった場合には、静電容量からガルバニック電流による腐食状態の判定に切り替える。 In addition, the timing which switches the period which determines a corrosion state by an electrostatic capacitance, and the period which determines a corrosion state by a galvanic current is not restricted to the generation | occurrence | production timing of corrosion. For example, at the initial stage of occurrence of corrosion, only a weak galvanic current flows as described above, so that corrosion proceeds to a certain extent and a galvanic current that can be stably measured flows, and then the galvanic current from the electrostatic capacity. You may make it switch to the determination of the corrosion state by. For example, when the corrosion progresses and the galvanic current starts to flow 1 μA or more, the capacitance is switched to the determination of the corrosion state by the galvanic current.
また、腐食の進行度がさらに大きくなると、ガルバニック電流のみでは腐食の進行度を正確に判定することが困難となる場合がある。このため、腐食の進行度が大きくなった場合には、再び静電容量による腐食状態の判定を行うようにしても良い。例えば、ガルバニック電流が1mA以上となる場合には、再び静電容量による腐食状態の判定を行うことが考えられる。 Further, when the progress of corrosion further increases, it may be difficult to accurately determine the progress of corrosion using only the galvanic current. For this reason, when the progress degree of corrosion becomes large, you may make it determine the corrosion state by an electrostatic capacitance again. For example, when the galvanic current is 1 mA or more, it is conceivable to determine the corrosion state by the capacitance again.
さらに、同一期間に静電容量とガルバニック電流との両方を用いて、より正確な腐食状態を求めるようにすることも可能である。このような場合には、静電容量とガルバニック電流とを変数とする連立方程式に当てはめて腐食状態を判定することや、静電容量とガルバニック電流との重みづけを調整して腐食状態を判定することが考えられる。 Furthermore, it is possible to obtain a more accurate corrosion state by using both the capacitance and the galvanic current in the same period. In such a case, the corrosion state is determined by applying simultaneous equations having capacitance and galvanic current as variables, or the corrosion state is determined by adjusting the weighting of the capacitance and galvanic current. It is possible.
以上のような本実施形態の腐食状態判定システム1(腐食検出方法)によれば、基板電極4aとパターン電極4cとに励磁信号を付与することによって、基板電極4aとパターン電極4cとがコンデンサとして機能し、これらの基板電極4aとパターン電極4cとの間に電荷が蓄えられる。基板電極4aの表面に錆層が形成されると、錆層の厚さ寸法の分、基板電極4aとパターン電極4cとの距離が近づくことになり、励磁信号が付与された場合の基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量が変化する。このため、基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量に基づいて、錆層の有無すなわち腐食状態の有無を判定することができる。本実施形態の腐食状態判定システム1によれば、上記の静電容量が計測される。このため、ガルバニック電流によらずに部材の腐食状態を判定することが可能となる。したがって、本実施形態の腐食状態判定システム1によれば、低湿度や部材の腐食の初期段階であっても、部材に腐食が発生していることを検出することができる。
According to the corrosion state determination system 1 (corrosion detection method) of the present embodiment as described above, by applying excitation signals to the
また、本実施形態の腐食状態判定システム1においては、基板電極4aとパターン電極4cとの間に流れる電流を計測して出力する電流計9を備えている。このため、基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量のみではなく、基板電極4aとパターン電極4cとの間を流れるガルバニック電流によっても部材の腐食状態を検出することが可能となる。
Further, the corrosion state determination system 1 of the present embodiment includes an ammeter 9 that measures and outputs a current flowing between the
また、本実施形態の腐食状態判定システム1においては、少なくとも基板電極4aに腐食が発生するまでの期間は、発振器5に励磁信号を基板電極4a及びパターン電極4cに付与させ、かつ、インピーダンス測定器8に静電容量を出力させる制御部10を備えている。このため、ガルバニック電流が微弱で安定的に検出することが困難な期間において、安定的に部材の腐食状態を検出することが可能となる。
In the corrosion state determination system 1 according to the present embodiment, at least the period until the
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。 As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the said embodiment. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described embodiments are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the spirit of the present invention.
例えば、上記実施形態においては、腐食検出装置2と判定部3とを備える腐食状態判定システム1について説明した。しかしながら、本発明は、判定部3を備えずに腐食検出装置2のみからなる構成を採用することも可能である。このような場合には、腐食状態の判定までは行わないが、腐食状態を示す基板電極4aとパターン電極4cとの間の静電容量を出力可能な腐食検出装置2として構成される。
For example, in the said embodiment, the corrosion state determination system 1 provided with the corrosion detection apparatus 2 and the
また、上記実施形態においては、電流計9を備え、ガルバニック電流を用いても腐食状態が判定可能な構成を採用した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、電流計9を備えずに、静電容量のみで腐食状態を検出可能な構成とすることも可能である。 Moreover, in the said embodiment, the structure which was equipped with the ammeter 9 and can determine a corrosion state even if it used the galvanic current was employ | adopted. However, the present invention is not limited to this, and it is possible to adopt a configuration in which the corrosion state can be detected only by the capacitance without including the ammeter 9.
また、上記実施形態においては、基板電極4aの形成材料が、パターン電極4cの形成材料よりもイオン化傾向が大きな材料であり、基板電極4aが錆びる構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、基板電極4aの形成材料が、パターン電極4cの形成材料よりもイオン化傾向が小さな材料とする構成を採用することも可能である。
Moreover, in the said embodiment, the formation material of the board |
1……腐食状態判定システム
2……腐食検出装置
3……判定部
4……腐食センサ
4a……基板電極
4b……絶縁膜
4b1……スリット
4c……パターン電極
4c1……スリット
4d……第1配線
4e……第2配線
5……発振器(励磁信号供給部)
6……第1スイッチ
7……第2スイッチ
8……インピーダンス測定器(静電容量計測部)
9……電流計(電流計測部)
10……制御部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Corrosion state determination system 2 ...
6 …… First switch 7 ……
9 …… Ammeter (current measuring part)
10. Control unit
Claims (8)
前記基板電極及び前記パターン電極に励磁信号を付与する励磁信号供給部と、
前記基板電極と前記パターン電極との間の静電容量を計測して出力する静電容量計測部と
を備えることを特徴とする腐食検出装置。 A substrate electrode formed from a first conductive material, an insulating film patterned on the substrate electrode, and a second conductive material formed on the insulating film and different from the first conductive material. A corrosion detection device comprising a patterned electrode,
An excitation signal supply unit for applying an excitation signal to the substrate electrode and the pattern electrode;
A corrosion detecting apparatus comprising: a capacitance measuring unit that measures and outputs a capacitance between the substrate electrode and the pattern electrode.
前記基板電極と前記パターン電極との間に励磁信号を付与し、前記基板電極と前記パターン電極との間の静電容量を計測することを特徴とする腐食検出方法。 A substrate electrode formed from a first conductive material, an insulating film patterned on the substrate electrode, and a second conductive material formed on the insulating film and different from the first conductive material. A corrosion detection method using a corrosion detection device provided with a patterned electrode,
A corrosion detection method comprising applying an excitation signal between the substrate electrode and the pattern electrode, and measuring a capacitance between the substrate electrode and the pattern electrode.
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JP2018098653A JP2019203775A (en) | 2018-05-23 | 2018-05-23 | Corrosion detection device, corrosion state determination system, and corrosion detection method |
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